SEMI112 Perspectives on Biosense Applications ElnTpc-Certification 減圧器は,制御されない場合,多数の人工的パーティクルを疑集,疑縮を通して生じ得ることが知られている。この生成を防ぐために,この仕様は200 bar (3000 psi) までの圧力において稼働するパーティクルカウンターを採用し,圧力逓減とそれに関連する問題に対する必要を無くしている。
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